基于PVD技術的TiSiN基納米復合結構超硬涂層

2014年

應用技術

初期階段

成果簡介

本項目研究了TiSiN納米復合涂層的制備技術和探討工藝參數對其性能的主要影響規律，工藝參數對TiSiN納米復合涂層結構和力學性能的影響：在不同的濺射氣壓下制備的TiSiN涂層的沉積速率和硬度先增加后降低，在0.4Pa時可獲得最高的力學性能。隨著沉積溫度由100℃升高到400℃時，TiSiN涂層的結晶程度和力學性能先增加后下降，在基片溫度為300℃時，涂層可獲得最高的硬度。隨著N2/Ar氣流...

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基于PVD技術的TiSiN基納米復合結構超硬涂層

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