2014年 應(yīng)用技術(shù)
成熟應(yīng)用階段 一種用于投影光刻照明系統(tǒng)的衍射光學(xué)元件光學(xué)性能的測(cè)量裝置及測(cè)量方法，該測(cè)量裝置包括照明單元、能量監(jiān)測(cè)單元、衍射光學(xué)元件固定支架、衍射圖樣測(cè)量單元和能量利用率測(cè)量單元。通過(guò)測(cè)量衍射光學(xué)元件產(chǎn)生的衍射圖樣及各級(jí)衍射光斑的能量分布，可準(zhǔn)確地評(píng)價(jià)衍射光學(xué)元件的光學(xué)性能。本發(fā)明不僅可以實(shí)現(xiàn)對(duì)衍射光學(xué)元件產(chǎn)生的遠(yuǎn)場(chǎng)衍射圖樣的直接測(cè)量，而且可以實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)衍射光學(xué)元件的能量利用率、零級(jí)衍射效率及高階衍射效...
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