一種量程可達2萬M/S2的微機械加速度傳感器

2005年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

　　本成果涉及一種量程可達20萬m/s2的微機械加速度傳感器。
　　其特征在于它是由芯片和厚度比它稍厚的矩形框架構成，芯片封裝在框架中，并用玻璃蓋板上下與其鍵合而成。芯片采用薄板一島的結構，主要有錨區、支撐質量塊的懸空薄板、質量塊、敏感電阻構成。
　　其彈性作用的薄板為單晶硅薄層，其厚度與量程有關；敏感電阻設計成單一直線狀，長度可接近薄板寬。

...

相關成果

1. 一種量程可達200萬M/S2的微機械加速度傳感器
2. 一種高固有頻率量程達200萬m/s2的微機械加速度傳感器
3. 低量程加速度傳感器
4. MEMS高G量程加速度傳感器
5. 一種硅微加速度傳感器及制作方法
6. 硅微機械加速度傳感器生產
7. 利用水銀的硅微加速度傳感器研究
8. 一種加速度傳感器
9. 一種量程設計可變的石英諧振式力傳感器
10. 微機械梳狀電容式加速度傳感器
12. 小量程厚膜壓力傳感器
13. 虛擬環境中微加速度傳感器建模及擬實運行
14. 高性能微機械高沖擊加速度傳感器技術研究
15. 安全氣囊氣體發生器用機械式加速度傳感器
16. 微機械電容式加速度傳感器及制作方法
17. 車用加速度傳感器
18. 濕法腐蝕制造微機械電容式加速度傳感器及其結構
19. 三維集成微機械加速度傳感器及制作方法
20. 開腔式全量程礦用紅外瓦斯傳感器

精品福利一区二区三区免费视-精品福利一区二区三区免费视频-精品福利一区二区在线观看-精品高潮呻吟99AV无码-精品高潮呻吟AV久久无码-精品高精欧美囯产日韩一区

一種量程可達2萬M/S2的微機械加速度傳感器

標簽云

猜您想要的成果

相關專家

相關機構


	選擇導出文檔的格式關閉 PDF PDF RTF(word文檔) TXT(純文本)


	提示信息關閉發送短信成功


	提示信息關閉發送短信失敗


	提示信息關閉發送郵件失敗


	提示信息關閉郵件發送成功