一種具有低k介質絕熱材料的相變存儲器結構及制備方法

2014年

應用技術

中期階段

成果簡介

本發明公開了一種具有低k介質絕熱材料的相變存儲器結構及制備方法，其相變存儲單元包括：二極管、加熱電極、可逆相變電阻、頂電極等；在加熱電極和可逆相變電阻周圍包裹有低k介質絕熱層；在可逆相變電阻與其周圍的低k介質絕熱層之間設有防擴散介質層。本發明利用低k介質材料作為絕熱材料，避免了相變存儲單元之間的熱串擾及操作時的相互影響，提高了器件可靠性，消除了非晶向多晶轉變時溫度、壓力等對PCRAM數據保...

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一種具有低k介質絕熱材料的相變存儲器結構及制備方法

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