基于二階像差模型的投影物鏡波像差檢測方法

2014年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

一種基于二階像差模型的投影物鏡波像差檢測方法，該方法利用主成分分析和多元線性回歸分析的方法，建立了空間像光強分布與澤尼克系數之間的二階關系模型，并利用非線性最小二乘法，優化算得表征投影物鏡成像質量的波像差值。與基于空間像主成分分析的線性關系模型（AMAI-PCA）相比，本發明拓展了測量像差的幅值范圍，當波像差幅值相等時，本發明擁有更高的測量精度。...

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