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基于減反膜工藝生產的電池片

2014年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

一、課題來源與背景
本課題來源浙江省2012年新產品試制計劃（第一批）。
我們公司采用的是Centrotherm公司的管式PECVD。主要原理是把硅片放在低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電使樣品升溫到預定的溫度，然后通入適量的硅烷與氨氣，再調節氨氣硅烷的停斷與流量，然后經一系列化學反應和等離子體反應，在硅片表面形成所需的固態的雙層氮化硅薄膜。其...

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基于減反膜工藝生產的電池片

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