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    高效低成本晶體硅太陽能電池制造

    2005年 應(yīng)用技術(shù)  成熟應(yīng)用階段
    • 成果簡介
    由深圳市拓日電子科技有限公司研制的晶體硅系列太陽能電池為國內(nèi)首家不依賴于國外進(jìn)口設(shè)備和技術(shù),而是采用本公司自主設(shè)計(jì)和制造的PECVD 沉積SiO_2+Si_3N_4復(fù)合減反膜設(shè)備,濕法腐蝕設(shè)備,等離子刻蝕設(shè)備,國產(chǎn)高溫?cái)U(kuò)散設(shè)備以及自行掌握的工藝技術(shù)生產(chǎn)的太陽能電池。
    晶體硅太陽能電池包括:單晶硅太陽能電池、多晶硅太陽能電池
    ①單晶硅太陽能電池

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