一種具有溫度自補償功能的頻率輸出型微機械雙梁諧振器

2013年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

本發明公開了一種具有溫度自補償功能的頻率輸出型微機械雙梁諧振器，它由在同一芯片上制作的硅/二氧化硅微橋諧振器和硅/二氧化硅雙層微懸臂梁溫敏元件組成，諧振器和溫敏元件材料相同，厚度相等或相近，同時制作且工藝相同，通過數據融合技術，溫敏元件的輸出信號自動補償溫度變化對橋諧振器諧振頻率的交叉靈敏度，從而減小微橋諧振器諧振頻率的溫度系數，提高工作溫度范圍。...

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一種具有溫度自補償功能的頻率輸出型微機械雙梁諧振器

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