一種氧化鋁-氧化硅復合氧化物薄膜制備工藝

2013年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

本發明公開了一種氧化鋁-氧化硅復合氧化物薄膜制備工藝，僅使用惰性氣體氬氣作為載氣及稀釋氣體，以目前國際通用的化學氣相沉積爐作為復合氧化物薄膜制造設備，能夠制備出比例可調的氧化鋁-氧化硅復合氧化物薄膜，制備溫度約500～800℃，可用于制備對氫氣有強滲透性的薄膜、金屬表面耐磨涂層以及非氧化物陶瓷基復合材料防氧化涂層。...

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一種氧化鋁-氧化硅復合氧化物薄膜制備工藝

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