化學氣相沉積/化學氣相滲透工藝尾氣處理方法與設備

2013年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

本發明公開了一種工業化CVI/CVD工藝尾氣處理方法與設備，主要用于以含氯硅烷為原料的工業化生產過程的尾氣處理，也可用于其它真空設備的尾氣處理。本發明采用機械泵油循環沉降過濾技術、蒸汽與尾氣反應處理技術和尾氣處理產物分離技術對經過油過濾、固體過濾的尾氣進行處理，使尾氣處理后的氣體、液體和固體產物的排放均滿足環保要求。本發明提高了機械泵工作的穩定性，具有尾氣處理設備無噪音、壽命長、成本低廉且...

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化學氣相沉積/化學氣相滲透工藝尾氣處理方法與設備

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