2013年 應(yīng)用技術(shù)
成熟應(yīng)用階段 1.該成果通過多學(xué)科技術(shù)的集成，采用了深冷泵真空技術(shù)、電子束蒸發(fā)及低溫成膜技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了在直徑為2050mm真空室精密光學(xué)鍍膜，是目前國內(nèi)最大型的電子束蒸發(fā)的光學(xué)精密鍍膜設(shè)備，容量大、產(chǎn)量高、膜層質(zhì)量好，特別適合大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，比一般設(shè)備節(jié)電50%以上，節(jié)能效果明顯。
2.該設(shè)備的膜厚控制系統(tǒng)采用全波長掃描膜厚儀精確檢測控制膜厚，全波長膜厚儀與晶體振蕩膜厚儀配合，實(shí)現(xiàn)設(shè)... 
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