空氣分離中高純氬的提取方法研究及應用

2013年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

①課題來源與背景
在電子工業中，高純氬應用于半導體器件的生產中。超純半導體的單晶體材料形成中，如硅和鍺生產過程，使用高純氬和高純氦作為保護氣又作為傳熱介質，為保證極高品質純度，一般需要99.999%～99.99999%的氬。在半導體器件中用來生產N結合P結。
全精餾制氬是目前較為主流的制氬方式，新制造的設備都采用了該項技術。全精餾制氬就是在空...

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空氣分離中高純氬的提取方法研究及應用

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