一種坩堝下降法單晶生長爐及其應用

2013年

應用技術

初期階段

成果簡介

本發明公開了一種坩堝下降法單晶生長爐，包括設有密閉腔體的爐體、坩堝和垂直移動機構，所述爐體的爐底板以及爐底板內側的保溫層上開有中心孔，中心孔與密閉腔體貫通，所述垂直移動機構穿過中心孔并沿爐體的中心軸上下移動；所述垂直移動機構與爐體密閉連接時，其伸入密閉腔體的一端位于密閉腔體的上端并與坩堝連接固定。采用本發明的坩堝下降法單晶生長爐，可有效避免坩堝進出料時對保溫層和發熱體的觸動，消除爐體的溫場...

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