銅銦鎵硒硫薄膜太陽電池光吸收層的制備方法

2013年

應(yīng)用技術(shù)

初期階段

成果簡介

本發(fā)明涉及銅銦鎵硒硫(CIGSS)光吸收層薄膜的制備方法。特征在于首先采用磁控濺射法在基片沉積Cu膜，然后采用蒸發(fā)法沉積In-Ga膜，形成Cu-In-Ga合金膜，再次將Cu-In-Ga合金膜與固態(tài)Se源或氣態(tài)H2Se源反應(yīng)生成銅銦鎵硒(CIGS)薄膜，最后將CIGS薄膜與固態(tài)S單質(zhì)或氣態(tài)H2S源反應(yīng)生成銅銦鎵硒硫(CIGSS)吸光層薄膜。本發(fā)明所提供的CIGSS薄膜的制備方法，不僅避免了三...

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銅銦鎵硒硫薄膜太陽電池光吸收層的制備方法

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