硅基氧化鋁模板合成ZnO納米結構及其場發(fā)射性能研究

2013年

應用技術

初期階段

成果簡介

本項目為應用基礎研究項目，通過合理控制電解液溫度、氧化時間，在草酸、磷酸溶液中高效可控制備了硅基AAO模板，滿足了光電器件的制備要求。通過使用質量分數(shù)為3%的磷酸溶液實現(xiàn)了對AAO模板的精確刻蝕。通過光刻結合二次陽極氧化技術，在硅基上制備了圖案化AAO模板，這為硅基AAO模板走向應用打下了重要基礎。通過采用溶膠、凝膠法、CVD技術和電化學沉積技術，在硅基AAO模板內(nèi)成功合成了ZnO量子點、...

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