2012年 應(yīng)用技術(shù)
成熟應(yīng)用階段 一、立項(xiàng)依據(jù)及國(guó)內(nèi)外技術(shù)背景
（一）立項(xiàng)依據(jù) 高純氧是一種工業(yè)用高端產(chǎn)品，用途廣泛，可用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積，作為氧化源用于產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑，干法氧化，與四氟化碳混合、用于等離子刻蝕等。 目前，國(guó)內(nèi)已有許多企業(yè)在從事高純氧的制備，如北京華宇辰氣體有限公司、深圳市圳寬工業(yè)氣體有限公司、南京特種氣體廠(chǎng)有限公司、東莞市高能工業(yè)氣體有限公司... 
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