高純液化氣體的輸送裝置

2012年

應用技術

中期階段

成果簡介

太陽能電池、半導體照明、平板顯示器、集成電路等半導體行業中廣泛應用的原料氣，很多是儲存于鋼瓶內的高純液化氣體，如液氨、液氯等。其純度通常大于99.999%。客戶使用端一般要求其以氣體狀態進入機臺，因此需要對高純液化氣體進行汽化處理。由于高純氣體品質和工藝的特殊要求，系統中雜質的進入，以及氣體在輸送過程中冷凝液化，都會對系統和工藝造成很大不便和危害，因此汽化過程要求務必保證產品純度及工藝穩定...

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高純液化氣體的輸送裝置

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