2012年 應用技術(shù)
成熟應用階段 一種基于空間像頻譜的光刻投影物鏡波像差檢測方法，本發(fā)明的特點在于通過頻譜匹配進行空間像定心和波像差求解。本發(fā)明方法包括1）使用光刻仿真軟件PROLITH計算不同澤尼克像差組合對應的仿真空間像，對每幅空間像進行傅里葉變換；2）對仿真空間像頻譜集合進行主成分分析，通過線性回歸分析在主成分系數(shù)和澤尼克系數(shù)之間建立回歸矩陣；3）運行光刻機的空間像采集程序，完成實測空間像的采集；4）使用頻譜定心方法...
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