一種硅基鋯鈦酸鉛鐵電厚膜的制備方法

2012年

應用技術

初期階段

成果簡介

本發明涉及一種硅基鋯鈦酸鉛鐵電厚膜材料的制備方法，屬于信息功能材料與器件領域。本發明方法包括先驅體溶液的配置，即將醋酸鉛，異丙醇鋯，正丙醇鈦先驅材料加人乙二醇甲醚等溶劑中，采用聚乙烯醇和乙酰丙酮控制粘度和穩定度，在干燥氣氛下配制成均勻穩定透明的先驅體溶液。然后在硅基襯底上通過甩膠、干燥、退火等過程制備所需厚度的鐵電厚膜材料。本發明通過引入緩沖層減緩了由于鐵電厚膜材料和硅基襯底的熱膨脹系數差...

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