離子源系統

2005年

應用技術

初期階段

成果簡介

1.項目來源及背景
近年來，離子注入工藝逐步取代了傳統的高溫擴散工藝。離子注入機是完成離子注入工藝的必備設備，離子源是離子注入機的心臟，具有精密度高、易損耗等特點。目前我中離子注入機完全依靠進口，每年我國進口離子源就花費幾千萬美元，因此根據國內IC產業的市場需求，填補國內空白，我公司決定開發研制離子源系統。
公司總經理王玉泉先生多次到美國IT設備專業生產廠家...

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離子源系統

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