表面織構化n型ZnO基透明導電薄膜及其制備方法

2012年

應用技術

初期階段

成果簡介

本發明涉及表面織構化n型ZnO基透明導電薄膜及其制備方法。本發明在n型ZnO基透明導電薄膜的膜面形成大量排列規則、結構均勻、連通良好且具有一定深度的微孔結構。這種表面織構化的薄膜具備良好的光捕獲性能，且同時具有高的電導率。這種利用直流磁控連續濺射制備的表面織構化高性能n型ZnO基透明導電薄膜，其工藝簡單，質量易于監控，適于大規模生產；可保持本體膜良好的柱狀晶結構，孔與孔之間連通完好，保持了...

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