金屬或金屬氧化物納米顆粒的制備方法

2012年

應用技術

初期階段

成果簡介

本發明涉及一種金屬或金屬氧化物納米顆粒的制備方法，其特征在于采用還原氣氛熱處理方法，包括襯底表面處理、金屬或金屬氧化物薄膜的制備和熱處理三大步驟。本發明旨在通過對金屬或金屬氧化物薄膜進行還原氣氛熱處理，在襯底上得到各種納米顆粒。該方法的優點在于可以通過調節鍍膜時間、功率和還原氣氛熱處理溫度及時間對顆粒形貌、分布和大小進行控制，可與半導體工藝相結合，得到的納米顆粒具有特殊的催化、光電特性。方...

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金屬或金屬氧化物納米顆粒的制備方法

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