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     本項目屬晶體生長設備關鍵控制技術領域。針對大直徑晶體生長設備關鍵控制技術和工藝進行研究，主要完成了如下任務： 1）設計高效加熱電源； 2）設計了加熱器溫度控制系統； 3）設計了4個自由度6個電動機控制控制系統； 4）設計了晶體生長控制和等徑控制軟件； 5）設計了爐膛壓力控制算法。給出了提供完整的晶體生長控制方案和高效率加熱電源設計方案。利用所提出方案成空拉制出符合集成電路微觀指標要求的單晶棒，開發的液面測量裝置獲得了國際知名單晶爐企業的高度評價。 該項目依托晶體生長設備陜西省工程技術研究中心完成，該項目的順利完成為陜西省高端晶體生長設備的制造提供了良好契機，為進一步在陜西延長產業鏈實現集成電路用硅材料的產業化生產奠定了良好基礎。 進一步對控制系統硬件可靠性進行拉晶考驗，并尋找風險投資等社會基金投入組建高端晶體生長設備的制造公司，可更好服務陜西。