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     本發明涉及一種基于離子束技術的電阻應變計制作方法，采用直流等離子體濺射技術和等離子刻蝕技術，在高溫硅橡膠基片表面涂敷聚酰亞胺酸膠液，熱固化形成聚酰亞胺柔性基底，然后剝離后固化得到所需應變特性要求的柔性基底膜，在柔性基底聚酰亞胺表面濺鍍電阻合金膜，最后再通過光刻和刻蝕工藝制備成電阻應變計，具有工藝簡單、成品率高、電阻合金膜成分可控、合金組分可按需求調配、圖形分辨率高、所制材料性能優良等優點。