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     本發明公開了硬脆性光學材料亞表面損傷層厚度的測量方法，首先使用磁流變加工工藝在樣品表面加工出一特定剖切平面，剖切亞表面損傷層，并將亞表面損傷反映到剖切平面上；使用腐蝕性化學試劑對剖切平面進行處理，將剖切平面上的亞表面裂紋暴露放大；使用粗糙度測量工具測量剖切平面上不同位置處的粗糙度值，得到粗糙度值變化曲線；由粗糙度曲線上取得數據開始趨向平穩的臨界點或極點，及測量過程中記錄下的起始點，求得這兩點之間的高度差或投影在原有表面兩點的高度差，即樣品亞表面損傷層厚度d。采用本發明方法快捷、準確，可測量多面型、多材料的光學樣品，亦可實現大口徑、工程化應用。