數字干涉條紋分析方法及光學元件面形檢測裝置
成果概況
成果類別: | 應用技術 | 體現形式: | 新技術 | 課題來源: | 自選課題 |
起止時間: | 2007.01 至2008.01 | 研究形式: | 獨立研究 | 所處階段: | 初期階段 |
成果屬性: | 原始性創新 |
成果簡介
本發明公開了一種數字干涉條紋分析方法及光學元件面形檢測裝置。其主要技術特點是,首先給原始的數字干涉條紋圖像乘以窗函數,以擴展干涉條紋圖像頻譜的主瓣寬度并抑制其頻譜的旁瓣;然后,再對數字干涉條紋圖像進行傅里葉分析,其間采用質點組質心坐標計算法對數字干涉條紋的空間載頻進行估計,并用于數字干涉條紋圖像的移頻,從而有效地抑制了柵欄效應給測量帶來的誤差。此外,基于本發明數字干涉條紋分析方法構建的光學元件面形檢測裝置能夠對空間載頻不是頻率采樣間隔整數倍時的干涉條紋進行高精度分析,而且檢測裝置結構組成簡單,測量實時性好。
應用前景
主要應用行業: | 制造業 | 知識產權形式: | 專利 |
應用狀態: | 產業化應用 | 擬轉化方式: |
單位概況
完成單位: | 中國兵器工業第二〇五研究所 | ||||
單位地址: | 陜西省西安市雁塔區電子三路西段九號 | ||||
單位電話: | 029-88288312 |
聯系方式
聯系人: | 范琦 | 聯系人電話: | 029-88288800 | 聯系人Email: |
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