微機(jī)械變壓器及其制作方法
成果概況
成果類別: | 應(yīng)用技術(shù) | 體現(xiàn)形式: | 新技術(shù) | 課題來(lái)源: | 自選課題 |
起止時(shí)間: | 2007.01 至2008.01 | 研究形式: | 獨(dú)立研究 | 所處階段: | 初期階段 |
成果屬性: | 原始性創(chuàng)新 |
成果簡(jiǎn)介
本發(fā)明公開(kāi)了一種微機(jī)械變壓器及其制作方法,屬于智能微型器件領(lǐng)域。該微機(jī)械變壓器的第三導(dǎo)體3位于基底4上,與外界地相連;第一導(dǎo)體1與第二導(dǎo)體2均通過(guò)錨點(diǎn)6懸置于基底4上,第一導(dǎo)體1輸入電壓Vin,第二導(dǎo)體2輸出感應(yīng)電壓Vinduc。各導(dǎo)體兩兩之間構(gòu)成平板電容。此外,該變壓器還可以通過(guò)更多懸置導(dǎo)體的形式得到多級(jí)變壓器。該微機(jī)械變壓器可以通過(guò)以下工藝過(guò)程得到:基底上生長(zhǎng)薄膜、刻蝕、結(jié)構(gòu)材料上刻蝕錨點(diǎn)、鍵合、減薄、刻蝕結(jié)構(gòu)材料。本發(fā)明提出的新型微機(jī)械變壓器具有結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單、工藝成熟、體積小等優(yōu)點(diǎn),同時(shí)很容易擴(kuò)展成多級(jí)變壓器,在設(shè)計(jì)片上型多輸出、復(fù)雜能源系統(tǒng)領(lǐng)域具有較好的應(yīng)用前景。
應(yīng)用前景
主要應(yīng)用行業(yè): | 制造業(yè) | 知識(shí)產(chǎn)權(quán)形式: | 專利 |
應(yīng)用狀態(tài): | 產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用 | 擬轉(zhuǎn)化方式: |
單位概況
完成單位: | 西北工業(yè)大學(xué) | ||||
單位地址: | 陜西省西安市碑林區(qū)友誼西路127號(hào) | ||||
單位電話: | 029-88492273;88494857 |
聯(lián)系方式
聯(lián)系人: | 苑偉政 | 聯(lián)系人電話: | 029-88492256 | 聯(lián)系人Email: |
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