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     本發明公開了一種飛秒激光制備氧化鋅納米線陣列的方法及其裝置，屬于微納米材料制備和飛秒激光微加工技術領域，與氧化鋅材料的周期性納米微結構有關，特別是一種利用飛秒激光輻射場在氧化鋅靶材上制備周期性納米線陣列的方法。氧化鋅納米線陣列制備時先將氧化鋅靶材固定在二維精密位移臺上，然后將一束光飛秒激光經透鏡聚焦，并使之作用于氧化鋅靶材上，通過飛秒誘導和二維精密位移臺配合掃描，產生氧化鋅周期性納米線陣列。本發明具有制備效率高，適用范圍廣，處理得到的氧化鋅納米線陣列排列整齊、均勻。