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     本發明公開了一種基于滑膜差動結構的硅諧振式壓力傳感器及其制作方法，屬于傳感器技術領域。該硅諧振式壓力傳感器主要包括諧振器2、支撐柱1、壓力敏感膜片3及邊框4四部分，其中邊框4上部與壓力敏感膜片3四邊相連，下部與壓力敏感膜片3對應位置形成有空腔，使被測氣體通過該空腔與壓力敏感膜片3相接觸。支撐柱1位于壓力敏感膜片3上表面，而諧振器2則通過支撐柱1和邊框4懸置于壓力敏感膜片3上表面。該硅諧振式壓力傳感器不僅簡化了制作工藝和版圖設計，避免了高真空封裝，降低了封裝漏氣對傳感器性能的影響，而且所采用的差動結構可以抑制共模噪聲，增加靈敏度，提高了傳感器輸出信號的信噪比，降低了外部電路的檢測難度。