第三代半導(dǎo)體碳化硅外延材料產(chǎn)業(yè)化
成果概況
| 成果類別： | 應(yīng)用技術(shù) | 體現(xiàn)形式： | 新材料 | 課題來(lái)源： | 部門計(jì)劃 |
| 起止時(shí)間： | 2011.11 至2013.03 | 研究形式： | 獨(dú)立研究 | 所處階段： | 初期階段 |
| 成果屬性： | 原始性創(chuàng)新 |
成果簡(jiǎn)介
對(duì)廠房進(jìn)行適應(yīng)性裝修，引進(jìn)世界最新型的碳化硅外延晶片量產(chǎn)爐2臺(tái)，建立起完整的碳化硅外延晶片生產(chǎn)線，采用具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的碳化硅外延生產(chǎn)技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)，形成年產(chǎn)2萬(wàn)片4至6英寸半導(dǎo)體碳化硅外延晶片的能力，同時(shí)還配備了最新型的進(jìn)口外延晶片質(zhì)量檢測(cè)設(shè)備，以保證技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)品生長(zhǎng)的需求。該項(xiàng)目的完成單位已成為中國(guó)第一家提供產(chǎn)業(yè)化3英寸和4英寸碳化硅半導(dǎo)體外延晶片生產(chǎn)商，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)該領(lǐng)域的空白。
應(yīng)用前景
| 主要應(yīng)用行業(yè)： | 制造業(yè) | 知識(shí)產(chǎn)權(quán)形式： | 專利 |
| 應(yīng)用狀態(tài)： | 產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用 | 擬轉(zhuǎn)化方式： |
單位概況
| 完成單位： | 瀚天天成電子科技（廈門）有限公司 | ||||
| 單位地址： | 福建省廈門市翔安區(qū)翔星路98號(hào)強(qiáng)業(yè)樓803室 | ||||
| 單位電話： | 0592-7628113;7767288 |
聯(lián)系方式
| 聯(lián)系人： | 蔡露筠 | 聯(lián)系人電話： | 0592-7628113 | 聯(lián)系人Email： | caily@epiworld.com.cn |
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