鐵電薄膜及其器件的失效問題是長期以來困擾其器件化應(yīng)用的關(guān)鍵問題,針對該科學(xué)問題,課題組建立了無鉛鐵電薄膜及其器件失效研究的理論體系,揭示了界面問題是鐵電薄膜及其器件失效的關(guān)鍵所在。在該基礎(chǔ)上,通過對鐵電薄膜及其器件的界面和結(jié)構(gòu)進行主動調(diào)控,解決了無鉛鐵電材料及其器件的界面匹配問題,研制了保持性能可以達到10年以上的工業(yè)應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)的無鉛鐵電場效應(yīng)晶體管,為無鉛鐵電薄膜及其器件的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用提供研究基...
|