射頻清洗工藝

2008年

應用技術

成果簡介

　　該發(fā)明涉及一種用于磁約束聚變裝置第一壁的清洗工藝，其特征是：離子回旋天線置于磁約束聚變裝置內(nèi)，該裝置內(nèi)預充有氦氣；由射頻發(fā)射機提供所需的射頻波；射頻波經(jīng)阻抗匹配系統(tǒng)耦合到離子回旋天線，使該天線激發(fā)射頻電磁波；射頻電磁波電離產(chǎn)生等離子，轟擊面向等離子的磁約束聚變裝置第一壁表面，解吸吸附在該壁表面的雜質；用大抽速的真空泵將解吸出來的雜質分子抽出，實現(xiàn)快速、高效清洗磁約束聚變裝置第一壁的目的。...

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