激光薄膜損傷特性及測試方法研究

2012年

應用技術

中期階段

成果簡介

該項成果涉及薄膜激光損傷閾值測試方法，分析了目前應用的各種測試方法的適用條件和應用范圍，結合薄膜材料和制備技術確定出適用于本項目的測試方法。重點研究了He-Ne散射光強法的散射光強分布規律，為檢測器的空間方位放置確定了理論和實驗依據。通過研究非平衡磁控濺射（UBMS）和脈沖真空電弧（PVAD）技術制備的類金剛石（DLC）薄膜的激光損傷特性，獲得了DLC薄膜的最佳制備技術和沉積工藝條件。采用...

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激光薄膜損傷特性及測試方法研究

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