超大規模集成電路65-40納米成套產品工藝研發與產業化

2012年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

　　中芯國際組織了500多人的研發團隊，通過大量的理論研究和4萬多次工藝實驗，對數千步工藝進行參數優化和成套工藝的集成，經過5年多艱苦努力，最后研發出國內領先、世界先進的集成電路65-40納米產品的大生產成套工藝，建立低功耗（LL）、通用（G）和射頻混合信號(RF)集成電路的工藝平臺，以及相應的設計IP核庫、可制造設計（DFM）、大生產產品良率提升等技術，建立了為國產材料和設備提供大生產條件下的工...

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超大規模集成電路65-40納米成套產品工藝研發與產業化

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