Cr-Me-N納米多層調幅結構薄膜增韌機制研究

2011年

基礎理論

成果簡介

本項目在國內外同行的研究基礎上，采用封閉磁場非平衡磁控濺射離子鍍設備制備出具有不同內插層的CrN/MeN或CrN/Me納米多層調幅結構薄膜。該復合鍍層通過控制OEM（Optical Emission Monitor，光譜發射監控儀）值來動態閉環調節氮氣流量，以精確控制氮氣流量而制備出摻雜Al、Nb等元素的納米多層調幅結構薄膜和復合膜。在制備出摻雜Me的薄膜上用壓入法研究薄膜韌性和增韌機理。...

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Cr-Me-N納米多層調幅結構薄膜增韌機制研究

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