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    副產尾氣回收綜合利用

    2011年 應用技術  成熟應用階段
    • 成果簡介
    本項目將三氯氫硅樣品中的磷、硼雜質通過氫還原后通入逆式混氣室,利用干冰-丙酮將三氯氫硅主體冷凝成液態。根據液化點特性,磷化氫、乙硼烷以氣態形式存在,把干冰-丙酮放在還原爐出口與捕集柱之間,從而實現氯代硅烷與磷化氫、已硼烷的分離。
    經干冰-丙酮冷凝后,三氯氫硅被冷凝成液態,而PH3、B2H6不被液化,再經液氮溫度下的DC-550柱捕集,PH3、B2H6定量富集在DC-55...

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