多晶硅納米薄膜耐高溫壓力傳感器

2010年

應用技術

成果簡介

　　項目簡介：通過省創新團隊項目的研究，確定了制備具有最佳壓阻特性多晶硅納米薄膜的關鍵工藝條件，給出了多晶硅納米薄膜應變電阻的制作方法，采用多晶硅納米薄膜作敏感材料設計并試制了耐高溫壓阻式壓力傳感器。該項目成果填補了國內外空白。
　　應用范圍：裝備制造、石化、化工、電力、管網運輸、環保、水利、汽車等部門的流程控制、自動化系統成套、設備配套，每年需要各類高性能壓力傳感器數千萬只。目前大部...

相關成果

1. 納米硅薄膜微壓力傳感器芯片
2. 多晶硅高溫壓力傳感器
3. 耐高溫壓力傳感器
4. 薄膜壓力傳感器
5. 耐高溫隔離(BOPP)薄膜
6. MEMS耐高溫壓力傳感器
7. 新型耐高溫壓力傳感器系列
8. 新型多晶硅薄膜太陽電池
9. 廉價多晶硅薄膜太陽電池
10. 納米壓力傳感器
12. 低成本襯底上多晶硅薄膜電池
13. 高性能薄膜壓力傳感器
14. SOI(梁膜結合)耐高溫壓力傳感器
15. 耐高溫微型壓力傳感器實用化開發
16. 特種耐高溫微型壓力傳感器產品開發
17. QYT210濺射薄膜壓力傳感器
18. 晶粒尺寸可控的多晶硅薄膜制備及檢測裝置
19. 電容器用耐高溫聚丙烯薄膜
20. 金剛石薄膜壓力傳感器研制技術

精品福利一区二区三区免费视-精品福利一区二区三区免费视频-精品福利一区二区在线观看-精品高潮呻吟99AV无码-精品高潮呻吟AV久久无码-精品高精欧美囯产日韩一区

多晶硅納米薄膜耐高溫壓力傳感器

標簽云

猜您想要的成果

相關專家

相關機構


	選擇導出文檔的格式關閉 PDF PDF RTF(word文檔) TXT(純文本)


	提示信息關閉發送短信成功


	提示信息關閉發送短信失敗


	提示信息關閉發送郵件失敗


	提示信息關閉郵件發送成功