光刻機系列

2010年

應用技術

成果簡介

　　1、URE-2000A/B型光刻機：該機采用i線紫外曝光光源，光學噸度年個采用特殊的消衍射和線條陡直增強技術，采用積木錯位繩眼透鏡實現高均勻照明，并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對準系統(可同時使用)，曝光能量高，聚光角度小，突具厚膠曝光功能，曝光設定采用微機控制，菜單界面友好，操作簡單。
　　2、RE-2000/25型光刻機：球氣浮實現高精度調平；超精密手輪對準調節，單片機控制...

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