2010年 應用技術
一、項目概述
硅壓阻式壓力傳感器在民用及國防中得到了廣泛的應用，國內(nèi)已有專門從事壓力傳感器生產(chǎn)的企業(yè)，創(chuàng)造出了突出的業(yè)績。在傳感器的性能及價格方面，目前國內(nèi)能夠生產(chǎn)的壓力傳感器主要屬低端和中端產(chǎn)品，生產(chǎn)數(shù)量很多，經(jīng)濟效益不明顯。經(jīng)過近十年的研究，現(xiàn)已突破了高端產(chǎn)品的技術瓶頸，研制出了高性能的壓力傳感器。該傳感器采用壓阻式工作原理，用SOI材料制作壓力敏感元件，采用半導體平面工藝... 
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