6英寸等離子體增強化學氣相沉積設備

2010年

應用技術

成果簡介

等離子體增強化學氣相沉積設備（PECVD）設備作為薄膜沉積市場的主流產品，全球市場一直被美國、日本所壟斷。國外12英寸PECVD設備已經基本成熟，而此前我國尚沒有生產型6英寸設備，生產線上應用的全部為進口設備。開發集成電路制造關鍵裝備、掌握具有自主知識產權的成套先進工藝，對于我國擺脫高端集成電路制造裝備與工藝完全依賴進口的狀況，降低生產設備采購成本，確保國防安全和經濟安全具有重要的意義。 ...

相關成果

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6英寸等離子體增強化學氣相沉積設備

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