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    銅互連工藝技術開發

    2010年 應用技術  中期階段
    • 成果簡介
    本項目在建設國內首條開放式銅互連先進工藝中試線的基礎上，開發先進的Cu/low-k互連工藝技術，具體為：
    130nm銅互連：
    1、單大馬士革銅金屬連線工藝
    2、先刻全孔雙大馬士革銅金屬連線及通孔工藝
    3、氧化硅/FSG線間介質和層間介質工藝
    4、Low-k介質擴散阻擋層工藝。
    ...
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