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非晶硅薄膜太陽能電池產業化

2010年

應用技術

初期階段

成果簡介

1.本項目的總體目標是開發用于HIT太陽電池生產線的關鍵裝備，打破國外的技術壟斷，實現關鍵設備的國產化。本項目研制的樣機包括：HIT電池專用PECVD設備。主要研究內容及所需要解決的關鍵技術如下：
1)超高真空度反應室結構的優化設計
2)電極結構和氣體分布的優化設計
3)高溫加熱系統和冷卻系統的結構設計
3)高...

相關成果

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非晶硅薄膜太陽能電池產業化

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