一種紅外探測器微型杜瓦組件性能測試用排氣裝置

2010年

應用技術(shù)

中期階段

成果簡介

本發(fā)明公開了一種紅外探測器微型杜瓦組件性能測試用排氣裝置，其結(jié)構(gòu)主要由微型吸附泵、雙通二位快速轉(zhuǎn)換真空閥門，過渡管、高氣密真空對接接頭、紅外探測器杜瓦組件組成。本發(fā)明是利用低溫介質(zhì)對無電源微型吸附泵內(nèi)的活性炭進行制冷，低溫下的活性炭對紅外探測器杜瓦組件進行排氣，雙通二位快速轉(zhuǎn)換真空閥門可以實現(xiàn)微型吸附泵與多個紅外探測器杜瓦組件之間快速高氣密的交替連接，來獲得紅外探測器微型杜瓦組件高真空排氣...

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一種紅外探測器微型杜瓦組件性能測試用排氣裝置

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