一種晶片清洗干燥架

2010年

應用技術

初期階段

成果簡介

本實用新型涉及一種晶片清洗干燥架，包括基座、方槽和通孔，基座沿豎直方向切去一部分作為定向面，方槽開在基座上表面，通孔連接方槽，方槽最寬面與基座的定向面平行。本實用新型的晶片清洗干燥架能保證整個晶片得到有效的清洗，并且不會在沸煮過程中發生晶面的翻轉；通孔的設置使清洗過程中方槽內的清洗液體能有效流動，避免了清洗下的顆粒沉積在方槽內對晶片產生二次污染，同時，在清洗結束時能讓清洗液體快速流出方槽；...

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一種晶片清洗干燥架

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