非制冷紅外探測材料與器件的研究

2010年

基礎理論

成果簡介

　　本次報獎的3個科研項目的攻關內容包括開發出Si基材料、Ⅲ-V族低維半導體材料及鈦酸鍶鋇(BST)等熱電薄膜作為非制冷紅外探測器的芯片材料；研制非制冷紅外探測器的工藝路線，優化器件的工藝指標；建立較為成熟的非制冷紅外探測器材料及器件技術，本項目以非制冷紅外探測器開發為主，研制相應的材料、器件及探測器演示樣機，已達到具體指標如下：
　　(1)獲得用非晶硅基材料制成的非制冷探測器芯片：非...

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非制冷紅外探測材料與器件的研究

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