石油勘探MEMS加速度傳感器

2010年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

根據石油勘探等重要行業的產品化應用需求，在現有研究成果基礎上，開展了MEMS加速度傳感器相關的設計、加工、測試、封裝及組裝等制造技術研究，重點解決了MEMS芯片的關鍵加工工藝組合－DRIE ICP刻蝕與硅/Pyrex玻璃鍵合－的一致性、均勻性、工藝監控等相關產品化關鍵技術問題，建立了該關鍵技術組合的產品化工藝規范，形成平臺批量加工生產能力。同時，開展了傳感器模塊化封裝和真空封裝等相關技術研...

相關成果

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石油勘探MEMS加速度傳感器

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