超精密金剛石車削中納米表面生成建模與表征

2010年

基礎理論

成果簡介

精密關鍵元器件在國防，交通，通訊等領域一直都占有重要的地位。近年來，很多元器件的制造精度都是要求在微納米級，常規的加工測量手段已經很難滿足這種日益提高的精度要求。超精密金剛石車削是一種具備了制造納米級表面粗糙度精密零件的超精密加工技術。在過去的幾十年中，由于許多行業對表面高完整性要求的日益增加，如提高表面特性以增大磁碟容量、延長激光反射鏡的壽命，納米表面生成吸引了公眾和許多科學家的注意力。...

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超精密金剛石車削中納米表面生成建模與表征

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