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    面向納米制造的機器人化作業裝備關鍵技術攻關

    2010年 應用技術  初期階段
    • 成果簡介
      根據本項目合同規定的研究內容和考核指標,完成情況如下:
      1、開展了基于自主技術的操作型AFM系統研制工作。通過分析AFM作業機理,完成了微納米作業系統體系結構設計;設計實現了探針位姿光電檢測系統,基于PSD光學測量的微力與微位移檢測技術,具有納米位置反饋與傳感器信息融合的運動規劃技術;設計完成了基于PZT的3D納米驅動伺服驅動控制系統,基于微處理器的程序管理與數據采集處理系統;...

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