利用納米夾具實現微納米器件的機器人化裝配

2010年

應用技術

初期階段

成果簡介

　　納米制造是微納米科學技術發展的一個重要方向。微納米制造技術的發展，可以為眾多基礎研究領域和應用領域提供具有創新性的技術發現，可以促進新的技術發展機遇，可以為科學研究和社會應用提供新的技術解決方法。本課題重點研究以納米碳管為材料的，利用AFM模式和機器人/自動化方法解決納as米器件裝配的一些基本問題和關鍵技術。包括研究采用IC/MEMS加工技術，設計制造微電極，構成可以搭接CNT的微納米器件模板...

相關成果

1. 機器人化納米操作方法與系統實現研究
2. 基于機器人化的納米操作方法研究
3. 精密機芯機器人化柔性自動裝配線
4. 機器人化納米操作理論方法與關鍵技術研究
5. 微納米光纖及其相關新型器件
6. 面向納米制造的機器人化作業裝備關鍵技術攻關
7. 納米級微驅動機器人系統
8. 利用合成波長法實現納米測量的方法
9. 掩埋“納米電極對”的納米器件及集成技術
10. 硅納米結構及納米電子器件研究
12. 構建單個納米顆粒電子器件和光學器件的納米操控方法研究
13. 納米分子與器件研究
14. 利用定向納米碳管制作可集成的散熱器件
15. 機器人化推土機
16. 納米級微驅動及微操作機器人系統
17. 納米器件中若干納米力學基本問題研究
18. 仿生微/納米結構材料的制備
19. 若干納米器件及其基礎
20. 納米冷陰極及其器件研制

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利用納米夾具實現微納米器件的機器人化裝配

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