1.課題來源與背景
近年來,隨著半導(dǎo)體、光伏產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展,廣東省將“電子信息產(chǎn)品制造關(guān)鍵技術(shù)與裝備”列入2007年科技攻關(guān)重點(diǎn)支持的技術(shù)領(lǐng)域范圍。廣州市在2008年科技攻關(guān)計(jì)劃中也將“自動(dòng)測試分類設(shè)備”列入了重點(diǎn)支持的技術(shù)領(lǐng)域(見2008年廣州市科技計(jì)劃項(xiàng)目指南3.3.1項(xiàng)),先進(jìn)的集成電路測試設(shè)備是半導(dǎo)體制造業(yè)必不可少的技術(shù)基礎(chǔ)裝備,TSSOP集成電路(IC)芯片測... |